応用物理学会秋季学術講演会

福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス 

2017年9月5日(火)~9月8日(金)

 

         “円筒型回転ステージを用いたフレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の窒素ブースト大気圧熱プラズマジェット照射による連続結晶成長”

 

         “SiCデバイス作製プロセスに向けた大気圧熱プラズマジェットによる大面積熱処理”

 

         “フレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の熱プラズマジェット結晶化における残留熱応力解析”

 

         “円筒型回転ステージを用いたフレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の大気圧熱プラズマジェット照射による高速結晶化”

 

注目講演

         “窒素ブーストによる大気圧熱プラズマジェット超ハイパワー化”