第64回応用物理学会春季学術講演会

2017年3月14日~17日 パシフィコ横浜

 

3月14日(火)  セッション名:Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

   “エキシマレーザーアニールによる薄膜Geの溶融結晶化とn型不純物活性化”  

   “ハイパワー大気圧熱プラズマジェットの加熱特性評価とシリコン薄膜の結晶成長制御”

   “大気圧マイクロ熱プラズマジェットを用いた高移動度n型Ge膜の作製”

   “中空構造SOI層を用いた低温転写における転写歩留まり向上とプラスチック基板上での単結晶シリコンTFTと論理回路の作製”

 

3月15日(水) セッション名:IV族系化合物 (SiC)

   “シリコンキャップアニールによるn型4H-SiCのオーミック電極形成”