先進パワー半導体分科会 第3回講演会

2016年11月8日~11月9日  つくば国際会議場

ポスター講演

“大気圧熱プラズマジェットの磁場制御とSiCデバイス作製プロセスに向けた大面積熱処理への応用”

 

“Si層挿入によるn型4H-SiCにおけるオーミックコンタクト形成要因の調査”