応用物理学会秋季学術講演会

朱鷺メッセ(新潟県新潟市) 2016年9月13日(火)~9月16日(金)

 

 (招待講演)東 清一郎(教授)

   “大気圧プラズマによるIV 族半導体薄膜の結晶成長と欠陥制御”

 

  “フレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の熱プラズマジェット結晶化”

 

  “ハイパワー大気圧熱プラズマジェット照射によるシリコン薄膜の高速溶融結晶化”

 

  “中空構造SOI 層を用いた低温転写における転写歩留まり向上とフレキシブル基板上での単結晶シリコンTFT とインバータ回路の作製”

 

  “交番磁場印加による大気圧熱プラズマジェットの走査と半導体基板の加熱”