応用物理学会春季学術講演会

東工大 大岡山キャンパス 2016年3月19日~3月22日

 

   “大気圧マイクロ熱プラズマジェットを用いたP+ドープa-Ge膜の結晶化及び活性化”

 

   “ハイパワー大気圧熱プラズマジェット照射によるシリコン薄膜の高速溶融結晶化と連続結晶成長”

 

   “中空構造SOI層を用いた低温転写技術におけるPET基板上高転写率の実現”