薄膜材料デバイス研究会

龍谷大学 響都ホール校友会館  2015年10月30日~31日

 

 オーラルセッション2: 機能性材料・デバイス

“アモルファスゲルマニウム細線への大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射により作製した薄膜トランジスタの特性評価”

 

ショートプレゼンテーション/ポスターセッション2

“プラズマ処理及び大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射によるシリコン膜中への不純物ドーピング”