応用物理学会秋季学術講演会

名古屋国際会議場 名古屋市 2015年9月13日~9月16日

 

    “PH3プラズマ処理及び大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射によるシリコン膜中への不純物ドーピング”

 

    “アモルファスシリコン細線の大気圧マイクロ熱プラズマジェット結晶化による粒内欠陥の低減”

 

    “中空構造SOI層の低温転写におけるFTIR-ATRを用いたシリコン/PET界面の化学結合状態評価

 

    “メニスカス力を用いた局所転写のための中空構造単結晶シリコンの形成”

 

 

    “大気圧熱プラズマジェット照射による高温イオン注入した4H-SiC中Pイオンの高効率活性化”

 

    “大気圧熱プラズマジェットを用いた4H-SiCの熱酸化”