2015年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会

徳島大学 常三島キャンパス 徳島市  2015年8月1日(土)

  " Ge/Al2O3ゲートスタックにおける界面化学状態評価"

  "PH3プラズマ処理及び大気圧マイクロ熱プラズマジェット熱処理によるシリコン薄膜への不純物ドーピング"

  "中空構造SOI層の低温転写におけるシリコン/PET界面の化学結合状態評価"