広島大学 大学院先端物質科学研究科 半導体集積科学専攻

研究設備

半導体パラメータアナライザ及びプローバ

Agilent Technologies

B1500

作製した薄膜トランジスタやMOSキャパシタ等の電気特性を測定します。

低温プローバでは低温下でのデバイス特性を測定できます。