広島大学 大学院先端物質科学研究科 半導体集積科学専攻

研究設備

マスクアライナ

ユニオン光学

EMA-400

スピンコータ

ミカサ

MS-A100

密着露光型のマスクアライナです。

スピンコータでフォトレジストを塗布して露光を行います。