広島大学 大学院先端物質科学研究科 半導体集積科学専攻

研究設備

電界放出型走査型電子顕微鏡(FE-SEM)

日本電子

JSM-7100F

電子後方散乱回折(EBSD)測定付

真空蒸着装置(SEM観察用カーボンコート)

日本電子

JEE-420

通常の二次電子像に加えて反射電子像の測定が可能です。

電界放出型電子銃により高い分解能が得られます。

EBSD測定により試料結晶面方位、結晶粒マッピング等の

結晶構造解析を行います。

絶縁試料にはカーボンをコーティングして観察を行います。