応用物理学会 薄膜・表面物理分科会・シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会
「ゲートスタック研究会」(第19回)
会期:2014年1月24-25日
場所:ニューウェルシティー湯河原

[ポスターセッション]

 “HfO2/TaGexOy絶縁膜を用いたGe-MISキャパシタにおける熱処理効果”


 “Ge(100)基板への低温As+イオン注入による低抵抗浅接合形成”



The 10th International Thin-Film Transistor Conference 2014(ITC2014)
Delft, the Netherlands , Jan. 23-24 , 2014

“Fabrication of Short Channel Thin Film Transistors by Channel Doping and Micro Thermal Plasma Jet Crystallization and Their Application to High Frequency Operation of CMOS Circuits”



8th International Conference on Reactive Plasmas 31st Symposium on Plasma Processing(ICRP-8/SPP-31)
Fukuoka Convention Center, Fukuoka, Japan, February 4-7, 2014

“Investigation on Crack Generation Mechanism and Reduction of Cracks Using Buffer Layer in Thermal-Plasma-Jet Crystallization of Amorphous Silicon Films on Glass Substrate”




NEXTプログラム学術講演会    

平成26年3月7日(金)13:00~16:30、広島大学東広島キャンパス 中央図書館ライブラリーホールにおいて、NEXTプログラム講演会(国民との科学・技術対話)が開催されます。
東 清一郎教授の講演は、13時55分〜14時40分に行われます。参加費無料(事前申込は不要)、どなたでもご参加いただけます。        *講演30分,質疑応答15分です。

講演題目:「プラスティック上に集積回路や太陽電池をつくる」
コンピュータやスマートフォンなどの最先端電子機器の頭脳は集積回路で、シリコンという半導体の単結晶を使って造られています。太陽電池もシリコン結晶を使って発電しています。我々はペットボトルにも使われている安価なプラスティック(PET:ポリエチレンテレフタレート)上に単結晶シリコンを作る新しい技術を開発し、トランジスタおよび太陽電池の動作に成功しました。本講演では、世界初のこの技術の概要を分かりやすく説明します。





2014年  第61回応用物理学会春季学術講演会
青山学院大学 相模原キャンパス 2014年3月17日~20日  

発表日時 2014年3月19日(水)

2014年春季応物参加者リスト



2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会  注目講演 

 酒池耕平氏の講演  “フレキシブル基板上での単結晶シリコンMOSFETの作製” が注目講演として選定されました。
   投稿された3526件の発表(うち口頭講演2660件、ポスター発表866件)の中から、学術的・社会的インパクトの観点より、19件が注目講演として選定。
   発表は3月19日(水) 12:15~12:30   講演番号: 19a-D2-11

   注目講演推薦理由:本講演は高性能の結晶SiMOSFETデバイスをPET基板上に転写する技術に関する発表で、フレキシブル基板上の集積回路の実現が期待できる。